激光平面干涉仪计量检测工作原理
照明系统发出单色激光1，通过反射镜2、聚光镜及光阑4射人仪器内半透反光镜5，通过准直物镜1 2折射为平行光后，射向标准平晶13和被检平晶14，标准平晶1 3和被检平晶1 4反射回来的光重叠形成相干光束。
相干光反束射回经半反射镜5、反射镜6、转向镜组7及射入光阑8，通过观测物镜9成像在测微目镜 的分划板1 0上，通过目镜组1 1可以看到干涉条纹及测量干涉条纹的弯曲及校准计量干涉条纹的间距。
激光平面干涉仪计量检测工作原理
当一束给定波长久的单色平行光照射到由两个平面组成楔形角z很小的空气楔时，被两平面分别反射回来的两束相干光在相遇处存在一定的光程差，这个光程差△只与空气隙 的厚度^有关，厚度相同的地方，两束反射光的光程差相同，因此在同一条干涉条纹出现 的地方正是有空气隙厚度相同的地方所产生的反射光形成的，称之为“等厚干涉原理。
外校仪器等厚干涉条纹的形状决定于空气隙厚度相同的地方的轨迹。
因此，根据干涉条纹的形确定平面度。
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