多组分密度计的优点如可维护性和高精度在线测量是相同的，但它是一个具有用于半导体制造工艺的小型电池型发射器的模型。
多组分密度计的特点
三个组件中的双组分密度计侧可以实时实现
标准配备模拟DC 4-20mA（2系统）和数字RS232C
标准配备测量误差输出和报警输出
标准配备自诊断功能和错误信息显示
小巧轻便的蜂窝发射器可以直接安装在线路上
采用PFA的液体接触材料对液体化学品没有影响，输出设计小
使用
CMP工艺中的CMP浆料和氧化剂浓度控制
清洗过程中清洗液浓度的控制（HF + HNO3·HF + H2SiF6等）
蚀刻过程中的蚀刻剂浓度控制（TMAH +抗蚀剂·TMAH + Si等）
优点
可以高精度地进行连续测量
免维护，无需定期调整和校准
安装时的各种调整是不必要的，并且安装容易
通过实时输出轻松反馈处理
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